產(chǎn)品簡介
機床適用于同軸非球面和螺旋表面車削加工,慢刀伺服(旋轉(zhuǎn)式)進行自由曲面加工,柵式飛刀技術(shù)進行自由曲面、線性衍射面以及光學(xué)棱形結(jié)構(gòu)加工,配備有優(yōu)化空氣隔震系統(tǒng)。
性能特點
1、適用于同軸非球面和螺旋表面車削加工,慢刀伺服(旋轉(zhuǎn)式)進行自由曲面加工,柵式飛刀技術(shù)進行自由曲面、線性衍射面以及光學(xué)棱形結(jié)構(gòu)加工;
2、專利耐撞擊多孔石墨涂層空氣主軸 - 全轉(zhuǎn)速范圍內(nèi)主軸跳動小于 12.5納米,C軸反饋分辨率為 0.01弧秒;
3、業(yè)界領(lǐng)先的8.4皮米光柵尺反饋分辨率;
4、標準加工口徑650mm,可定制更大加工口徑;
5、Delta Tau 控制軟件 - 程序預(yù)讀能力40,000句;
6、通過網(wǎng)絡(luò)可進行實時設(shè)備監(jiān)控以及遠程操作控制;
7、NanoSMART™ - 業(yè)界首款觸摸屏操作界面,應(yīng)用了大量新功能,其中包括能運行文件大小高達5GB的程序;
8、可選配件:旋轉(zhuǎn)工作臺B軸,主軸內(nèi)置任意定位控制C軸,微磨削以及微銑磨附件,快刀伺服系統(tǒng),光學(xué)對刀儀,噴霧式冷卻系統(tǒng),真空卡盤,微調(diào)式刀座,NanoCAM 2D非球面光學(xué)元件編程軟件,機床在線測量和誤差補償系統(tǒng)(WECS),以及溫控系統(tǒng)。
技術(shù)參數(shù)
主機 |
描述 |
系統(tǒng)配置 |
超精密3,4 或5 軸CNC 機床,用于同軸非球面和螺旋表面車削加工,慢刀伺服(旋轉(zhuǎn)式)進行自由曲面加工,柵式飛刀技術(shù)進行自由曲面、線性衍射面以及光學(xué)棱形結(jié)構(gòu)的加工 |
最大加工范圍 |
直徑650mm x 長300mm(可定制更大的加工口徑) |
床身結(jié)構(gòu) |
整體式復(fù)合聚合物花崗巖,內(nèi)置冷卻槽,具有極好的熱穩(wěn)定性 |
隔震裝置 |
優(yōu)化空氣隔震系統(tǒng)。可選配自動調(diào)平阻尼式空氣隔震系統(tǒng) |
計算機配置 |
Intel i5 2.4 GHz 處理器,64 位Windows 7 專業(yè)版,16G 內(nèi)存,10/100/1000 以太網(wǎng)接口,CD-RW / DVD 光驅(qū)以及500GB 硬盤,22”多點觸摸屏,USB 接口 |
控制系統(tǒng) |
Delta Tau 系統(tǒng),嵌入式1GHz, 64 位運動控制器, Nanotech 新觸控操作界面,基于Windows 7 環(huán)境 |
編程分辨率 |
線性分辨率0.01 nm / 角度分辨率0.0000001° |
性能展示(使用激光干涉儀或者白光干涉儀測量同一個元件) |
材料 – 高純度鋁合金 (所有精度的測量同一個元件的同一表面) 面型精度(P-V): ≤ 0.1μm / 75mm 口徑,,250mm 曲率半徑凸球面. 表面粗糙度(Ra): ≤ 3.0 nm(測試元件在X-Z 和Y-Z 面車削) |
主軸 |
標準指標 |
類型 |
專利耐撞擊多孔石墨涂層空氣軸承 |
主軸恒溫冷卻 |
通過閉環(huán)控制冷水機,提供溫度控制循環(huán)冷卻水,透過環(huán)繞在空氣軸承主軸的馬達和軸頸管道進行冷卻,以達到維持主軸和刀具中心熱穩(wěn)定的重復(fù)性。冷水機帶有控制精度為±0.5°F 的內(nèi)置PID 控制器。 |
安裝 |
嵌入式安裝于Y 軸托架,以增強外圈剛性并降低熱增長。主軸軸心安裝于絕熱外殼內(nèi)以增強熱穩(wěn)定性 |
轉(zhuǎn)速范圍 |
50 至10,000 rpm(雙向) |
加工口徑 |
650mm |
承載能力(徑向) |
85 Kg @ 7bar (185 lbs @ 100psi.) / 102 Kg @ 10bar (225 lbs @ 145psi.) @ 鼻端 |
承載能力(軸向) |
180 Kg @ 7bar (397 lbs @ 100psi.) @ 鼻端 |
徑向剛性(鼻端) |
130 N/um @ 7bar (743,000 lbs/in @ 100psi) |
軸向剛性 |
438 N/um @ 7bar (2,500,000 lbs/in @ 100psi) |
驅(qū)動系統(tǒng) |
無刷直流電機 |
運動精度 |
軸向: ≤ 12.5 nm 徑向: ≤ 12.5 nm |
線性軸 |
X |
Z |
Y(垂直)-- 選配 |
類型 |
全約束式油靜壓,閉式導(dǎo)軌 |
全約束式油靜壓,閉式導(dǎo)軌 |
全約束式油靜壓,閉式導(dǎo)軌,并配置空氣軸承適應(yīng)控制器,用于平衡重力和不同的負載 |
行程 |
350mm |
300mm |
150mm |
驅(qū)動系統(tǒng) |
無刷直流直線電機 |
無刷直流直線電機 |
無刷直流直線電機 |
反饋類型 |
激光全息線性光柵尺 |
激光全息線性光柵尺 |
激光全息線性光柵尺 |
反饋分辨率 |
0.008 nm |
0.008 nm |
0.008 nm |
進給速度 (最大) |
2000mm/min |
2000mm/min |
2000mm/min |
直線度 |
全行程0.3μm |
全行程0.3μm |
全行程0.5μm ( 中心100mm 0.3μm) |
靜壓油裝置 |
緊湊,低流量,低壓力系統(tǒng),配備封閉式循環(huán)伺服控制以及使氣泵脈動最小化的壓力積蓄裝置 |
選配旋轉(zhuǎn)軸 |
B |
C(主軸選配) |
類型 |
油靜壓軸承 |
空氣軸承溝槽補償(液體冷卻) |
行程 |
360° (雙向) |
360° (雙向) |
驅(qū)動系統(tǒng) |
無刷直流電機 |
無刷直流電機 |
軸向剛性 |
875 N/μm |
詳見上述主軸指標 |
徑向剛性 (鼻端) |
260 N/μm |
詳見上述主軸指標 |
定位精度 |
± 1.0 弧秒(經(jīng)補償) |
± 1.0 弧秒(經(jīng)補償) |
反饋分辨率 |
0.005 弧秒 |
0.01 弧秒 |
最大速度 (定位模式) |
50 rpm |
3,000 rpm |
運動精度 |
軸向: ≤ 0.1μm 徑向: ≤ 0.1μm |
軸向: ≤ 12.5nm 徑向: ≤ 12.5nm |
應(yīng)用要求 |
Air 空氣 |
Electrical 電子 |
Floor Space 底面空間 |
為優(yōu)化車削結(jié)果,熱穩(wěn)定性應(yīng)被控制在±0.5°C (±1.0°F)以內(nèi) |
7 to 10 bar (100 – 145 psi) 280 liters/min (10 scfm) 過濾10 μm 以上微粒 干燥至 10°C 壓力露點 |
208 - 480 VAC; 50 / 60hz; 3 Phase (11kVA) |
1.8m 寬 x 1.8m 長 x 2m 高 重量約3,180 Kg(包括機床外殼和電柜,但不包括控制臺等外圍設(shè)備) |
Warranty 保修 |
所有部件保修期為一年 |