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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
350UPM機(jī)床為高效超精密微磨削/微銑削機(jī)床，該機(jī)床配置了轉(zhuǎn)速60000、液體冷卻的垂直空氣軸承主軸。350UPM適用于非球面鏡頭陣列和微結(jié)構(gòu)溝槽元件的金剛石微銑削，可以取得傳統(tǒng)機(jī)床無(wú)法達(dá)到的光學(xué)表面精度和低誤差�？杉庸ち慵某叽鐬椋簩�350mm X 長(zhǎng)350mm X 高150mm。
機(jī)床特性
1、PC 兼容CNC運(yùn)動(dòng)控制器以及Windows操作系統(tǒng)，編程分辨率0.01納米 (0.0004u”)；
2、絕熱型線(xiàn)性刻度反饋系統(tǒng)，分辨率34皮米 (0.034nm)；
3、碳纖維加固型整體式復(fù)合大理石基座，熱穩(wěn)定性、剛性以及減震性能十分出色；
4、箱式油靜壓軸承滑軌，提供光滑、高剛性和很好的減震能力的線(xiàn)性運(yùn)動(dòng)性能；
5、高速循環(huán)周期的線(xiàn)性電機(jī)控制器，利于提高表面質(zhì)量，并使維護(hù)最小化；
6、空氣軸承磨削主軸轉(zhuǎn)速200-60000rpm（配有液體致冷）；
7、X軸行程：350mm，Y軸行程：350mm，Z軸行程（垂直）：150mm；
8、極具策略性的嵌入式熱耦實(shí)時(shí)原位熱能監(jiān)控設(shè)計(jì)。
技術(shù)參數(shù)
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主機(jī) |
描述 |
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系統(tǒng)配置 |
3軸或4軸超精密CNC 微銑削系統(tǒng) |
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最大加工范圍 |
350mm寬x350mm長(zhǎng)x150mm高 |
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基本架構(gòu) |
整體復(fù)合環(huán)氧樹(shù)脂花崗巖底座嵌入碳纖維加固 |
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隔震裝置 |
優(yōu)化空氣隔震系統(tǒng)�？蛇x配自動(dòng)調(diào)平阻尼式空氣隔震系統(tǒng) |
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控制系統(tǒng) |
基于PC的DeltaTau CNC運(yùn)動(dòng)控制器， Intel i5 2.5 GHz 處理器，Windows 運(yùn)行系統(tǒng)， 配備19寸彩色觸摸屏，2G 內(nèi)存，10/100/1000以太網(wǎng)接口，DVD+/-RW SATA光驅(qū)以及500GB 硬盤(pán)，全系統(tǒng)安裝于NEMA 12機(jī)柜。 |
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編程分辨率 |
線(xiàn)性分辨率0.01 nm / 角度分辨率0.0000001° |
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主軸 |
標(biāo)準(zhǔn)指標(biāo) |
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類(lèi)型 |
空氣軸承 |
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主軸轉(zhuǎn)速范圍 |
5,000- 60,000 RPM |
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軸向剛度 |
65 N/μm (371,000 lbs./in.) |
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徑向剛度（鼻端） |
20 N/μm (114,000 lbs./in. ) |
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驅(qū)動(dòng)系統(tǒng) |
無(wú)刷直流電機(jī) |
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運(yùn)動(dòng)精度 |
軸向: ≤ 25 nm 徑向: ≤ 25 nm |
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線(xiàn)性軸 |
X |
Y |
Z（垂直） | |
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類(lèi)型 |
全約束式油靜壓，閉式導(dǎo)軌 |
全約束式油靜壓，閉式導(dǎo)軌 |
全約束式油靜壓，閉式導(dǎo)軌，并配置空氣軸承適應(yīng)控制器，用于平衡重力和不同的負(fù)載 | |
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行程 |
350mm |
350mm |
150mm | |
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驅(qū)動(dòng)系統(tǒng) |
無(wú)刷直流直線(xiàn)電機(jī) |
無(wú)刷直流直線(xiàn)電機(jī) |
雙無(wú)刷直流直線(xiàn)電機(jī) | |
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反饋類(lèi)型 |
激光全息線(xiàn)性光柵尺 |
激光全息線(xiàn)性光柵尺 |
激光全息線(xiàn)性光柵尺 | |
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反饋分辨率 |
0.034nm |
0.034nm |
0.034nm | |
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進(jìn)給速率（最大） |
2000mm/min |
2000mm/min |
2000mm/min | |
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直線(xiàn)度 |
0.2μM水平全行程 0.75μm垂直全行程 |
0.2μM水平全行程 0.75μm垂直全行程 |
0.2μM水平全行程 0.75μm垂直全行程 | |
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靜壓油裝置 |
緊湊，低流量，低壓力系統(tǒng)，配備封閉式循環(huán)伺服控制以及使油泵脈動(dòng)最小化的壓力積蓄裝置 | |||
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溫度管理系統(tǒng) |
描述 |
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閉環(huán)冷卻系統(tǒng) |
提供導(dǎo)軌靜壓油及主軸冷卻液的溫度控制 |
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陶瓷主軸固定臂 |
具有較高結(jié)構(gòu)剛度和低熱膨脹系數(shù)的輕量化設(shè)計(jì) |
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熱敏電阻溫度監(jiān)測(cè)系統(tǒng) |
嵌入熱敏電阻持續(xù)監(jiān)控實(shí)時(shí)溫度，1/1000華氏度分辨率 |
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Nano temp軟件 |
獨(dú)家溫度制圖軟件，跟蹤機(jī)器內(nèi)溫度變化情況 |
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機(jī)床外殼 |
外殼充分利用雙滑動(dòng)門(mén)改進(jìn)了溫度穩(wěn)定性（可選空氣淋�。� |
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選配旋轉(zhuǎn)軸 |
旋轉(zhuǎn)C軸 |
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類(lèi)型 |
油靜壓 |
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行程 |
360°（雙向） |
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驅(qū)動(dòng)系統(tǒng) |
無(wú)刷直流電機(jī) |
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軸向剛度 |
875 N/μm (5,000,000 lbs./in.) |
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徑向剛度（鼻端） |
260 N/μm (1,500,000 lbs./in.) |
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定位精度 |
±1.0弧秒 |
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反饋分辨率 |
0.02弧秒 |
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最大速度（定位模式） |
50 rpm |
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運(yùn)動(dòng)精度 |
軸向: ≤ 0.1μm 徑向: ≤0.1μm |
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環(huán)境要求 |
Air空氣 |
Electrical供電要求 |
占地要求（包括電氣柜） |
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為優(yōu)化車(chē)削結(jié)果，熱穩(wěn)定性應(yīng)被控制在±0.5°C (±1.0°F)以?xún)?nèi) |
7.5to 10 bar (110–150 psi) 280liters/min (10 scfm) 過(guò)濾10μm 以上微粒 干燥至10°C 壓力露點(diǎn) |
208- 480 VAC; 3相位；50 / 60hz; 3 Phase (11kVA) |
1.9m寬 x 1.8m 長(zhǎng) x 2.1m 高 重量約3,360 Kg (包括機(jī)床外殼和電柜，但不包括控制臺(tái)等外圍設(shè)備) |
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