主機

描述

系統(tǒng)配置

超精密多軸臥式滾筒車床

最大加工范圍(HDL2000)

550mm（直徑）x2600mm（長）（2000 mm光學加工區(qū)）最大負載1800kg

最大加工范圍(HDL2000-HD)

600mm（直徑）x2600mm（長）（2000 mm光學加工區(qū)）最大負載3000kg

基本架構(gòu)

天然黑色花崗巖(封閉)

隔震裝置

優(yōu)化空氣隔震系統(tǒng)-自動調(diào)平阻尼式空氣隔震系統(tǒng)

控制系統(tǒng)

基于PC的Delta TauCNC運動控制器， Intel酷睿2 2.5 GHz 處理器，Windows 運行系統(tǒng)， 配備19寸彩色觸摸屏，4G 內(nèi)存，10/100/1000以太網(wǎng)接口，DVD+/-RW SATA光驅(qū)以及500GB 硬盤，全系統(tǒng)安裝于NEMA 12機柜。

編程分辨率

線性分辨率1nm / 角度分辨率0.0001º

主軸(C軸)

標準指標

類型

油靜壓主軸

主軸恒溫冷卻系統(tǒng)（標準）

冷卻液通過環(huán)繞油靜壓軸的冷卻管道進行冷卻，溫控系統(tǒng)包括主動溫度控制系統(tǒng)（ATMS）和集成PID控制器，冷卻液交換器和制冷源。

轉(zhuǎn)速范圍

主軸---0到300轉(zhuǎn)（雙向）（HD型號為400轉(zhuǎn)）

c軸模式---0到300轉(zhuǎn)（雙向）

軸向剛度

350 N/um (2,000,000 lbs/in)

徑向剛度(鼻端)

875 N/um (5,000,000 lbs/in)

驅(qū)動系統(tǒng)

無刷直流電動機

運動精度

軸向: ≤ 100 nm     徑向: ≤ 100nm

C軸位置分辨率

0.000005° (0.019 弧秒)

尾座主軸

描述

類型

油靜壓主軸

主軸恒溫冷卻系統(tǒng)（標準）

冷卻液通過環(huán)繞油靜壓軸的冷卻管道進行冷卻，溫控系統(tǒng)包括主動溫度控制系統(tǒng)（ATMS）和集成PID控制器，冷卻液交換器和制冷源。

徑向剛度(鼻端)

875 N/um (5,000,000 lbs/in)

主軸線性沖程

50mm (2”)

線性軸

X

Z

W（尾座）

類型

全約束式油靜壓，閉式導軌

全約束式油靜壓，閉式導軌

全約束式油靜壓，閉式導軌，并配置空氣軸承適應控制器，用于平衡重力和不同的負載

行程

350mm

2100mm

2000mm

驅(qū)動系統(tǒng)

無刷直流直線電機

無刷直流直線電機

雙無刷直流直線電機

反饋類型

線性刻度

線性刻度

線性刻度

反饋分辨率

0.034 nm

1.0nm

100nm

直線度

0.75um/全行程 (30u”)

1.0um/500mm (40u”)

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靜壓油裝置

緊湊，低流量，低壓力系統(tǒng)，配備全封閉回路伺服控制以及使油泵脈動最小化的壓力積蓄裝置

可選用項

描述

油靜壓旋轉(zhuǎn)B軸

NanoBalance雙平面滾筒平衡軟件

溫控風淋系統(tǒng)

NanoTEMP溫度監(jiān)控系統(tǒng)

視頻觀測系統(tǒng)

多工位刀架

NanoMETER電子表屏幕放大器及無線遙控操作屏幕

電子顯微鏡系統(tǒng)

噴霧冷卻系統(tǒng)

光學對刀系統(tǒng)

真空芯片提取系統(tǒng)

多種快刀伺服系統(tǒng)

環(huán)境要求

Air空氣

Electrical供電要求

占地要求

為優(yōu)化車削結(jié)果，熱穩(wěn)定性應被控制在±0.5°C (±1.0°F)以內(nèi)

6.9 bar (100psi)

7.5 升/秒 (15 scfm)

干燥至10°C壓力露點及預過濾5μm顆粒物

208- 480 VAC; 三相；50 / 60hz; 3 Phase (11kVA)

1.9m寬 x 1.8m 長 x 2.1m 高

重量約3,360 Kg

(包括機床外殼和電柜，但不包括控制臺等外圍設備)

Warranty 保修

所有部件保修期為一年