計(jì)量光柵是用于數(shù)控機(jī)床的精密檢測(cè)元件，是閉環(huán)系統(tǒng)中另一種用得較多的測(cè)量裝置，用作位移或轉(zhuǎn)角的測(cè)量，測(cè)量精度可達(dá)幾微米。



（一）光柵的種類



在玻璃的表面上制成透明與不透明間隔相等的線紋，稱為透射光柵；在金屬的鏡面上制成全反射與漫反射間隔相等的線紋，稱為反射光柵，也可以把線紋做成具有一定衍射角度的定向光柵。



計(jì)量光柵分為長(zhǎng)光柵（測(cè)量直線位移）和圓光柵（測(cè)量角位移），而每一種又根據(jù)其用途和材質(zhì)的不同分為多種。如可將長(zhǎng)光柵分為玻璃透射光柵和金屬反射光柵。



由于激光技術(shù)的發(fā)展，光柵制作精度可以提高，再通過(guò)細(xì)分電路可以做到0.1μm，甚至更高的分辨率。 



（二）光柵的工作原理

　



光柵位置檢測(cè)裝置由光源，



長(zhǎng)光柵（標(biāo)尺光柵），短光柵



（指示光柵）和光電元件等組



成，如圖4-12所示。



根據(jù)光柵的工作原理分為透射直線式和莫爾條紋式光柵兩類。 



  透射直線式光柵原理圖



1．透射直線式光柵



透射直線式光柵的結(jié)構(gòu)如圖4-13所示，它是用光電元件把兩塊光柵移動(dòng)時(shí)產(chǎn)生的明暗變化轉(zhuǎn)變?yōu)殡娏髯兓�的方式。長(zhǎng)光柵裝在機(jī)床移動(dòng)部件上，稱為標(biāo)尺光柵；短光柵裝在機(jī)床固定部件上，稱為指示光柵。標(biāo)尺光柵和指示光柵均由窄矩形不透明的線紋和與其等寬的透明間隔組成。當(dāng)標(biāo)尺光柵相對(duì)線紋垂直移動(dòng)時(shí)，光源通過(guò)標(biāo)尺光柵和指示光柵再由物鏡聚焦射到光電元件上，若指示光柵的線紋與標(biāo)尺光柵透明間隔完全重合，光電元件接受到的光通量最小。若指示光柵的線紋與標(biāo)尺光柵的線紋完全重合，光電元件接受到的光通量最大。因此，標(biāo)尺光柵移動(dòng)過(guò)程中，光電元件接受到的光通量忽大忽小，產(chǎn)生了近似正弦波的電流。再用電子線路轉(zhuǎn)變?yōu)閿?shù)字以顯示位移量。為了辨別運(yùn)動(dòng)方向，指示光柵的線紋錯(cuò)開(kāi)1/4柵距，并通過(guò)鑒向線路進(jìn)行辨別。



由于這種光柵只能透過(guò)透明間隔，所以光強(qiáng)度較弱，脈沖信號(hào)不強(qiáng)，往往在光柵線較粗的場(chǎng)合使用。



2．莫爾條紋式光柵 



用得較普遍的是莫爾條紋式光柵，是將柵距相同的標(biāo)尺光柵與指示光柵互相平行的疊放并保持一定的間隙（0.1㎜），然后將指示光柵在自身平面內(nèi)轉(zhuǎn)過(guò)一個(gè)很小的角度θ，那么兩塊光柵尺上的刻線交叉，在光源的照射下，相交點(diǎn)附近的小區(qū)域內(nèi)黑線重疊，透明區(qū)域變大，擋光面積最小，擋光效應(yīng)最弱，透光的累積使這個(gè)區(qū)域出現(xiàn)亮帶。相反，距相交點(diǎn)越遠(yuǎn)的區(qū)域，兩光柵不透明黑線的重疊部分越少，黑線占據(jù)的空間增大，因而擋光面積增大，擋光效應(yīng)增強(qiáng)，只有較

　



少的光線透過(guò)光柵而使



這個(gè)區(qū)域出現(xiàn)暗帶。如



圖4-14所示，此明暗相



間條紋稱之為莫爾條紋，



其光強(qiáng)度分布近似于正



弦波形。如果將指示光



柵沿標(biāo)尺光柵長(zhǎng)度方向平行的移動(dòng)，則可看到莫爾條紋也跟著移動(dòng)，但移動(dòng)



方向與指示光柵移動(dòng)方向垂直。當(dāng)指示光柵移動(dòng)一條刻線時(shí)，莫爾條紋也正好移過(guò)一個(gè)條紋。



五、磁尺



    磁尺又稱為磁柵，是一種計(jì)算磁波數(shù)目的位置檢測(cè)元件�？捎糜谥本�和轉(zhuǎn)角的測(cè)量，其優(yōu)點(diǎn)是精度高、復(fù)制簡(jiǎn)單及安裝方便等，且具有較好的穩(wěn)定性，常用在油污、粉塵較多的場(chǎng)合。因此，在數(shù)控機(jī)床、精密機(jī)床和各種測(cè)量機(jī)上得到了廣泛使用。



圖4-15  磁尺結(jié)構(gòu)與工作原理

文本框: 圖4-15  磁尺結(jié)構(gòu)與工作原理



 



磁尺由磁性標(biāo)尺，磁頭和檢

　



測(cè)電路組成，其結(jié)構(gòu)如圖4-15所



示。磁性標(biāo)尺是在非導(dǎo)磁材料的



基體上，采用涂敷，化學(xué)沉積或



電鍍上一層很薄的磁性材料，然



后用錄磁的方法使敷層磁化成相



等節(jié)距周期變化的磁化信號(hào)。磁化信號(hào)可以是脈沖，也可以為正弦波或飽和磁波。磁化信號(hào)的節(jié)距（或周期）一般有0.05㎜，0.10mm，0.20㎜，1㎜等幾種。



磁頭是進(jìn)行磁—電轉(zhuǎn)換的器件，它把反映位置的磁信號(hào)檢測(cè)出來(lái)，并轉(zhuǎn)換成電信號(hào)輸送給檢測(cè)電路。



磁尺是利用錄磁原理工作的。先用錄磁磁頭將按一定周期變化的方波、正弦波或電脈沖信號(hào)錄制在磁性標(biāo)尺上，作為測(cè)量基準(zhǔn)。檢測(cè)時(shí)，用拾磁磁頭將磁性標(biāo)尺上的磁信號(hào)轉(zhuǎn)化成電信號(hào)，再送到檢測(cè)電路中去，把磁頭相對(duì)于磁性標(biāo)尺的位移量用數(shù)字顯示出來(lái)，并傳輸給數(shù)控系統(tǒng)。