微細(xì)加工技術(shù)采用全自動方式對金屬零件表面進(jìn)行超精加工，通過一種機(jī)械化學(xué)作用來清除金屬零件表面上1～40μm的材料，實現(xiàn)被加工表面粗糙度達(dá)到或者好于ISO標(biāo)準(zhǔn)的N1級的表面質(zhì)量。微細(xì)加工技術(shù)主要應(yīng)用于超精拋光和超精增亮這兩個領(lǐng)域。超精拋光使傳統(tǒng)的手工拋光工藝自動化;而超精增亮則生成新的表面拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)。

　　微細(xì)加工技術(shù)的一個突出優(yōu)點是能夠賦予零件表面新的微觀結(jié)構(gòu)。這些微觀結(jié)構(gòu)能提高零件表面對特定應(yīng)用功能的適應(yīng)性。如減小摩擦和機(jī)械差異、提高抗磨損性能、改善涂鍍前后表面的沉積性能等。

　　總的說來，超精增亮可去除次級微觀粗糙表面，次級粗糙表面的厚度在0～20μm之間，位于零件表面初級微觀粗糙面的峰尖之間。而超精拋光則部分或整體去除初級微觀粗糙表面，其值在10～40μm之間，當(dāng)然這取決于零件材料表面的初始狀態(tài)。

　　微細(xì)加工技術(shù)迄今能夠加工的材料有退火及淬火鋼、銅及銅合金、鑄鐵、Inconel鎳合金(鎳基合金)、鈦金屬、表面硬涂層處理前后的預(yù)處理(PVD、CVD、電鍍)。