原理：三次元量測儀可定義為：一種具有可作三個方向移動的探測器，可在三個相互垂直的導軌上移動，此探測器以接觸或非接觸等方式傳送訊號，三個軸之位移量測系統(tǒng)（如光學尺）經(jīng)數(shù)據(jù)處理器或計算機等計算出工件的各點坐標（x,y,z）及各項功能量測的儀器。

其工作原理是利用光柵繞射所制成的量測系統(tǒng)俗稱光學尺，其光源經(jīng)過瞄準透鏡而投射到游動刻度尺和主刻度尺，藉其光波產(chǎn)生Moire條紋明暗訊號之原理，由光電管接收其信號，經(jīng)放大及修正后即可顯示出來，其系統(tǒng)及輸出信號情形。 

　　操作： 

　　1、量測前準備： 

　�。╝）檢查空氣軸承壓力是否足夠 

　�。╞）安裝工件 

　　2、測頭選擇及安裝： 

　　（a）將適當之測頭裝于Z軸承接器 

　�。╞）檢視Z軸是否會自動滑落（否則應調整紅色壓力平衡調整閥） 

　�。╟）鎖定各軸之適當位置 

　　3、量測操作： 

　�。╝）開啟處理機電源 

　　（b）啟開打印機開關 

　�。╟）參考操作手冊，選擇所需功能之指令 

　　（d）進行量測，并讀出量測值 

　　4、完成后注意事項： 

　　（a）Z軸移至原來位置后，鎖定 

　�。╞）X,Y軸各移至中央，鎖定 

　�。╟）關電源及壓力閥 

　　（d）取下測頭 

　�。╡）并作適當?shù)谋ｐB(yǎng)