微光學(xué)元件加工方法

發(fā)布日期:2012-10-28    蘭生客服中心    瀏覽:4199

  由于受應(yīng)用需求的驅(qū)動(dòng),對(duì)微光學(xué)元件加工技術(shù)的研究也在不斷深入,出現(xiàn)了多種現(xiàn)代加工技術(shù),如電子束寫技術(shù)、激光束寫技術(shù)、光刻技術(shù)、蝕刻技術(shù)、LIGA技術(shù),復(fù)制技術(shù)和鍍膜技術(shù)等,其中最為成熟的技術(shù)是蝕刻技術(shù)和LIGA技術(shù)。

  這些技術(shù)基本都是從微電子元器件的微細(xì)加工技術(shù)發(fā)展而來(lái),但與電子原件不同,三維成型精度和裝配精度對(duì)光學(xué)元件來(lái)說(shuō)是至關(guān)重要的,將會(huì)直接影響其性能,因此這些方法各自都有它自身的缺陷和使用的局限性。如由于視場(chǎng)深度的限制,光刻技術(shù)僅限于二微結(jié)構(gòu)和小深寬比三維結(jié)構(gòu)的加工;采用犧牲層蝕刻技術(shù),雖然可以實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)三維加工,但易使材料產(chǎn)生內(nèi)應(yīng)力,影響最終的機(jī)械性能,且設(shè)備造價(jià)非常昂貴;LIGA技術(shù)利用的高準(zhǔn)直度的X射線光源,一般要通過(guò)同步輻射加速器得到,造價(jià)比光刻設(shè)備還要高許多,一般實(shí)驗(yàn)室和企業(yè)都很難負(fù)擔(dān)得起;電子束寫技術(shù)能夠加工納米級(jí)的精密結(jié)構(gòu),但效率低,難以進(jìn)行批量生產(chǎn)。復(fù)制技術(shù),包括熱壓成型法、模壓成型法和注射成型法等,是一種適于批量生產(chǎn)的低成本技術(shù),但要求其模具具有較高精度和耐用性。

  微光學(xué)元件的另一加工方法是超精密機(jī)械加工技術(shù)。最近“財(cái)富”雜志上有這樣一句話:“超精密加工技術(shù)對(duì)光學(xué)元件的作用猶如當(dāng)初集成電路對(duì)電子元件的作用”。這句話雖然不無(wú)夸張,卻說(shuō)明了用超精密機(jī)械加工技術(shù)進(jìn)行微光學(xué)元件的加工已經(jīng)引起人們極大的重視。超精密機(jī)械加工技術(shù)在微光學(xué)元件加工中的應(yīng)用將在下一節(jié)詳細(xì)論述。

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